Semilab为半导体、材料科学和光伏研究的广泛应用开发了研究和开发工具。欧洲杯线上买球SRP - 2100是一个这样的系统,提供一系列测量参数,如掺杂剂浓度和电阻率,载流子,电阻率和掺杂剂形状,氧化物厚度,薄片电阻,轮廓形状,过渡宽度,结深度,电激活剂量,砷化镓和其他化合物半导体。
通过SRP-2100,用户可以探索硅器件中完整的电阻率剖面或载流子密度。设计师可以检查他们的模型是如何代表实际制造的设备;工艺工程师可以排除所有硅掺杂操作,包括离子注入,外延和扩散;提高产量的工程师可以进行无故障失效分析的制造过程。
附加功能
SRP-2100的其他功能包括:
- 浅层测量(SLM)
- 斜角测量(BAM)
- 可变探针间距(VPS)
- PCIV选项用于宽带隙半导体
- 信号塔
- 独立的斜面样品抛光单元