Dektak XTL stylus profiler可从Bruker设计，以容纳高达350mm × 350mm的样品，为面板和大面晶圆制造带来了著名的Dektak再现性和可重复性。
Dektak XTL是紧凑的，包括一个全封闭的工作站和一个容易接近的联锁门。这些特点使该系统适合当今具有挑战性的生产现场环境。此外，它的双摄像头架构允许改善空间感知，其高水平的自动化提高了生产能力。
独特的Vision64生产界面具有模式识别功能，可进行缩放以满足特定的应用需求，并使数据收集成为一个直观和可重复的过程，减少操作员之间的可变性。Dektak XTL是业界最容易使用的手写笔分析器。
关键特性
Dektak XTL触笔分析器系统的主要特点是:
- 占用空间小
- 易于使用的
- 强大的自动化设置和操作
- 双摄像头控制
- 易于分析和数据收集
- 无与伦比的笔技术
- Vision64软件
- 大格式应用的关键结果
应用程序
Dektak XTL触针分析器系统的应用包括:
- 晶圆应用:蚀刻速率测定，化学机械抛光等。
- 大型基板应用:pcb，硅片掩模，窗膜，抛光垫
- 玻璃基板和显示应用:amoled，太阳能涂层薄膜测量，触控面板薄膜厚度测量
- 柔性电子薄膜:有机光电探测器，印刷在玻璃/薄膜上的有机薄膜，触摸屏上的铜痕迹