的XE15原子力显微镜Park Systems提供了一系列独有的功能，使其适合研究人员进行多种不同的实验，共享实验室处理各种样品，以及在晶圆上工作的故障分析工程师。
XE15坚固耐用，多用途，性价比高。它有能力在一个单一的过程中成像和确定多个样本。用户可以很容易地将他们的样本加载到舞台上并执行扫描过程。这一特性也使他们能够在相似的环境条件下对样本进行扫描，从而提高数据的可靠性和精度。
与大多数AFM仪器相比，XE15 AFM可以扫描高达200mm × 200mm的大尺寸样品，并提供更高分辨率的成像。此外，该系统具有一个独特设计的多样本卡盘，可装载多达16个单独的样本。
关键特性
XE15原子力显微镜的主要特点是:
- 在一个过程中自动成像多个样本
- 独特的MultiSample™扫描
- 真正的非接触式™模式
- 高分辨率成像
- 多样品卡盘装载多达16个样品
- 完全电动的XY样品台
- 双独立，闭环XY和Z挠曲扫描仪
- 精确的高度测量
- 减少样品干扰，更精确的扫描
- 多种模式和选项可供选择