来自Zygo的NEXVIEW™3D光学表面分析器

NEXVIEW™3D光学表面分析器从Zygo可以测量几乎任何表面的地形,从光滑到粗糙度,具有亚纳米精度,与视野无关。

测量类型包括粗糙度,平坦度,陡坡,薄膜,大的步骤和表面形貌,从高度为1nm,高度高达20000μm。

NEXVIEW™分析器可以测量具有子埃宽表面粗糙度的超级抛光光学表面,以陡峭的机械角度高达85度。它提供了其他分析技术的最佳品质,如焦点扫描,手写笔和共用,而无需其缺点。用户不再需要根据他们想要测量的表面类型选择分析器。

NexView™Profiler还利用了所有新的MX™软件,该软件为系统控制和数据分析提供了数量的地形信息,丰富的交互式3D地图,直观的测量导航,通过/失败限制,控制图和内置于SPC的统计信息。

主要特征

NEXVIEW™3D光学表面分析器的主要功能包括:

  • 流线型设计
  • 自动化操作
  • 没有妥协分析
  • 3D和非接触式测量
  • 振动公差技术
  • 功率能力的性能
  • 所有新分析和控制软件
  • 直观的用户界面
  • ISO 25178表面测量参数
  • 所有新的图形工作流软件

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