这个残余气体分析仪(RGA)Extrel以可承受的成本实现可靠的全量程压力测量。它包括一个法拉第杯检测系统与可选的电子倍增器,提供灵敏度高达5x10-14托。
Extrel的RGA具有智能启动设计,配备四极质量分析仪、离子计和皮拉尼计。它有两种不同的质量范围,从1到100 amu或1到300 amu。
该分析仪采用RS-232C或US与Windows通信®XP或7操作系统。它最适合于真空室特性描述、泄漏检测和背景气体分析。
主要特点
Extrel RGA的主要特点如下:
- 可靠易用
- 法拉第杯允许从10-4到10-11托的全量程压力测量
- 在法拉第杯上增加了倍增器,可将测量范围扩展到5x10-14托
- 双钍涂层灯丝允许电子发射四极和离子计操作
- RGA100和RGA300测量探头
- 离子和皮拉尼规功能保护灯丝免受真空漂移引起的应力
- 智能启动设计提供从皮拉尼到离子计,再到四极系统的自动切换功能
- RS-232C或US与Windows的通信®XP或7操作系统
- 离子电流放大器在一次扫描中测量10-6到10-15A的离子电流