紧密耦合淋浴喷头®CRIUS®II-L,可提高AIXTRON的生产率和性能

CCS Crius.®AIXTRON的II-L是一种高通量反应器,以低成本提供高性能。过程周期更少的时间,这确保了高的过程产量。

该系统便于连续生产,无需内部烘烤和动态间隙调整。它可在不同的尺寸范围- 69x2, 16x4, 7x6,和3x8英寸,每个允许无缝放大过程。该系统还可用于分析晶圆片的曲率、表面温度和生长速率。

关键特性

crius的主要特征®II-L型反应器如下:

  • Argus原位温度控制
  • 快速传感器处理功能
  • 连续生产没有内部烘烤
  • 无缝的扩大过程
  • 缩短工艺周期时间
  • 可提供各种尺寸:69x2, 16x4, 7x6, 3x8英寸
  • 增长速度快,压力大
  • 零粒子生成
  • 高生产率和高绩效
  • 减少维护

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