的ST-500系列探针站Janis是高性能的研究工具,提供高性价比的真空和低温探针的晶圆和系统。
完善的ST-500低温恒温器构成了这些探针站的基础,并包括低振动技术,以提供卓越的样品位置稳定性。研究人员依靠这些系统在许多领域进行研究,如铁电学、MEMS、超导、纳米电子学、光学和材料科学。欧洲杯线上买球
关键特性
ST-500探测器站的主要特点是:
- 温度范围:~3.5K ~ 475K(可选:8K-650K)(基于使用的探头)
- 低振动水平和位置漂移
- 可以用液氦或液氮吗
- 氦消耗量小于1升/小时
- 多达七个冷却,易于互换,微操纵探针臂
- 可容纳多达2”(51mm)直径的晶圆(可选:多达8”[203mm])
- DC-67GHz电测量
- 广泛的经济型低频探头,易于替代
- 极低的三轴探头臂泄漏电流只有几个fA
- Multi-tip探针
- 非破坏性、非接触式开尔文探测器
- 系统定制选项
- 平滑的X-Y-Z-移动台适用于所有单片镜组件
- 光纤探针臂具有单模和多模光纤选项
- 可选的光学访问通过样品安装传输测量
- 为样品区提供附加的电线和电缆
- 可选择特殊的微型真空室,在真空下将样品从手套箱转移到探针站
- 可选活动夹头。
Janis研究低温应用