的Zeta-20基于ZDot™专利技术，可以分析和成像各种样品的表面特征，即低反射率到高反射率，平滑到粗糙，透明到不透明。
Zeta-20可以使用软件和硬件选项定制专门的测量要求。硬件安装简单，易于使用。
关键特性
其主要特点是Zeta-20下面列出:
- ZDot™创新3D成像是KLA光学轮廓仪使用的基本格式。ZDot™技术结合KLA的透射和暗场照明方案以及一系列目标，使仪器能够处理非常坚硬的表面。
- 薄膜厚度测量选项是基于ZFT反射计
- ZSI剪切干涉仪具有埃级垂直分辨率
- ZIC改进的差分干涉对比度成像是纳米级表面粗糙度的理想成像方法
- ZX5垂直扫描干涉法适用于大视场的纳米高度测量
用户推荐
我们试着用干涉仪对一个重要的透明样品进行低对比度地形分析，但无法对焦。与Zeta-20光学分析器，我们能够在几分钟内完全描述样本。
Dr. Antonio J. López，胡安卡洛斯国王大学Móstoles，西班牙
我们用我们的Zeta-20并依赖它进行快速测量和样品表征。它完全符合我们的需要。KLA的定制意愿给我们留下了特别深刻的印象。我们有一个独特的需求，他们抓住了这个机会，让它为我们工作。我们得到的客户服务水平也给我们留下了深刻的印象。
Rebecca Krone Kramer，美国普渡大学助理教授