SE 500adv可以作为一个激光椭偏仪，薄膜厚度探头FTPadv或作为一个组合椭偏和反射计(CER)椭偏仪。因此，它提供了标准激光椭偏仪无法达到的最大灵活性。
作为激光椭偏仪，可以进行单角度和多角度测量，以确定光学参数和薄膜厚度，使用一个波长在632.8 nm。
作为薄膜厚度探测器FTPadv，在正常入射下测量透明或弱吸收层的厚度。SENTECH先进软件FTPadv Expert可实现多层测量。
作为CER椭偏仪，透明层的循环厚度周期可以立即确定。第一循环厚度顺序的折射率精度大大提高(即对于薄层/ SENTECH专利)。对于透明层，可以确定柯西系数。
特性
其主要特点是Sentech SE 500adv激光椭偏仪包括:
- 椭偏和反射相结合
- 消除透明膜层厚度测定中的模糊现象
- 厚度可扩展至25µm
- 椭偏仪最容易应用于实际样品