这Hiden EQP系统是用于分析等离子体离子，中性和中性自由基的组合质谱仪和能量分析仪。该系统包括用于正离子的操作模式和负离子分析。
对于详细的中性自由基研究，提供阈值电离和电子连接电离模式，用于分析电阳性和电阴性等离子体自由基。
EQP系统配备了集成MCS - 多通道标量数据采集，其时间分辨率为50ns，从而为脉冲等离子体应用提供快速数据采集。Hiden等离子体探针可用于测量某些关键等离子体参数，并提供与等离子体反应化学有关的详细数据。
完全了解血浆离子和中性物质的反应动力学在诸如Hipims等优质表面工程过程的发展至关重要。
基本的电子轰击离子源能够分析中性，并且与电子连接质谱（EAMS）电子连接模式相结合，可以处理电负基自由基物质的分离和识别。
Hiden分析来自Hiden分析的血浆表征的EQP系统
主要特征
EQP系统的主要功能是：
- 45°静电扇区分析仪，扫描能量为0.05EV / 0.25EV FWHM
- 软件控制离子提取光学最小等离子体扰动
- 最小摄动离子飞行路径和恒离子传输在所有能量
- 差异泵送的三重滤波器四极，质量范围选项到2500mu
- 可调谐的整体电离器，外观电位MS具有电子连接选项
- 高灵敏度/稳定性脉冲离子计数检测器，具有七十年动态范围
- 削减量表和互锁以提供压力保护
- MASsoft控制通过RS232, RS485或以太网局域网
- 信号门控和可编程信号门控选项，用于脉冲等离子体中的时间分辨研究
- 1000EV选项，浮动选项高达10keV，高密度等离子体的法拉第杯
- 金属金属，无线电金属屏蔽选项，高压操作选项
应用程序
EQP系统的主要应用如下：
- 蚀刻/沉积研究
- 离子和自由基分析
- 离子植入
- 剩余气体分析
- 等离子电极耦合
- 泄漏检测
- 激光烧蚀