这Hiden Expion探测器可用于定期监测I-V等离子体特性,其提供与等离子体再现性和稳定性有关的直接数据。
等离子体参数的自动实时外推提供有关等离子体性能的综合数据,然后可以用于表征和均匀性监测。
Espion系统的标准等离子体分析模型是轨道运动有限公司(OML)和Allen Boyd Reynolds(ABR)。
通过Hiden自动Z驱动器通过等离子体体积使能空间解决的测量。标准Z-Drive翻译选项包括:300,600和900mm。
主要特征
Espion的主要特征如下:
- 15扫描/秒采集率与自动,半或手动分析的D-O-E接口
- 4.25mohm在13.56 MHz CF.100kohm.
- 用于高温等离子体操作的气体冷却多电感链
- 气体冷却的多电感链可以由用户替换为调整其他频率
- 参考探针补偿低频效应。转移等离子体电位(例如阳极阳光室壁)或噪声(例如电源)
- 任何市售单位的最高阻抗阻抗
- 任何商业探针的最快脉冲等离子体规格
- 包含所有必需的门控电路作为标准
- 互锁隔离阀,90°探头,组合线性 - 旋转驱动器可用选项
- 自清洁循环限制探针尖端污染
- 300,600或915mm自动线性驱动器选项
- ESPSOFT通过RS232,RS485或以太网LAN控制
应用程序
Espion的主要应用在下面列出:
- 浮动潜力
- 电子温度
- 离子助焊剂
- 离子密度
- 等离子体潜力
- 等离子体表征
- 电子能源分布