的隐藏紧凑型模拟人生工具能够快速和简单的表征层结构，表面污染和杂质与氧初级离子束辅助下的正离子的灵敏检测，并提供整个元素周期表的同位素敏感性。
旋转旋转的传送带使10个样品在同一时间被载入测量进入干抽真空室。该工具占地面积小，非常容易使用。
离子枪的几何形状适用于纳米深度分辨率和近表面测试。该工具具有一个控制软件和离子枪系统，类似于全功能的Hiden SIMS工作站系列，因此能够提供深度剖面、质谱数据和3D和2D图像。
最大- 600p探测器是基于高可靠的隐藏6mm三重四极质量滤波器与脉冲离子检测。可用电子枪(可选)分析绝缘样品。
Compact SIMS有一个SNMS单元，对于高浓度元素(如合金)的定量是有用的。
关键特性
其主要特点是隐藏紧凑型模拟人生工具如下所示：
- 质谱
- 占用空间小
- 深度剖析
- 同位素分析
- 简单易用的布局
- 轮式小车设计
- 阳性SIMS和SNMS
- 三维特征和成像
- 纳米尺度的分析
- 只需单相电力(10A以下)
应用程序
隐藏紧凑SIMS工具的主要应用如下: