来自TMC的STACIS®III压电主动振动消除系统

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斯蒂西^®3来自TMC具有复杂的惯性振动传感器，先进的压电致动器和最先进的控制算法。

这种创新的主动振动消除系统通过持续测量地板活动进行实时振动消除，并通过压电执行器的膨胀和收缩来滤除楼层运动。

STACIS III包括DC-2020，一个新的和增强的数字控制器。这一突破性的控制系统还具有新的双核处理器和以太网和USB串口在其前后面板。用户友好的、基于pc的图形用户界面(GUI)是该系统的另一个关键特征。

利用独特的串行设计和专有的高效压电技术，振动隔离的开始发生在0.6Hz，在1 Hz下实现40％至70％的隔离。可以在2 Hz和更高，垂直和水平的29％以上的分离隔离。

除了尽量减少装配式地板的建设费用，Stacis III.可在较高振动条件下安装工具。主动带宽0.6-150Hz, 6自由度主动硬座设计，无软空气悬架。

在世界范围内成功安装了数百次，STACIS是最振动敏感仪器的理想振动消除系统。它是一个鲁棒控制系统，不需要定时重调谐。STACIS III是一种与所有内部工具隔振系统兼容的使用点解决方案。

使用TMC staci^®技术，Stacis III用压电执行器进行振动消除。通过这种方式，它允许在较旧的楼层和嘈杂的地板中容纳复杂的工具。它与不同的楼层高度和亚地板几何形状兼容。

Stacis III在增加振动水平随时间增加期间遵守刀具振动标准，从而提高产量，产量和质量。TMC还提供符合RoHS的版本。与空气隔离器相比，Stacis是多次更硬的，从而消除了空气振动隔离系统的所有限制。

与主动空气系统不同，可以将STACIS放置在具有内部主动空气隔离系统的工具下面，从而优化两个系统。在全球范围内安装的超过数百个STACIS系统表明，STACIS是大多数工具制造商推荐的最适合振动敏感仪器的振动消除系统。

关键性能指标斯蒂西^®3系统在下表中给出：

性能规格
积极的自由度	6
活跃的带宽	0.6至150 Hz
自然频率	被动的弹性体。18赫兹有效有源谐振频率:0.5 Hz
1.0 Hz隔离	40％ - 70％
在2.0 Hz及以上隔离	90%或更好的
10磅(4.5 kg)阶跃输入后的沉淀时间(10:1减重)	0.3秒
内部噪音	<0.1 nm rms
每个隔离器的工作负载范围(需要不同的被动安装)隔离器过载安全系数	400 - 4500磅（182 - 2,045千克） > 2：1
隔离器数量	3或4个典型
刚度(1000磅/454千克质量)(典型的中等容量隔震器)	40000磅/。（73 x106 wm）
磁场发射	<0.02微高斯宽带均方根

隔离器的尺寸、环境和用途要求如下表所示:

隔离器尺寸，环境和公用事业要求
隔离器尺寸	11.75英寸。(W) x 12.5英寸。(D) x 10.8英寸。(H) (300 x 320 x 275毫米)
隔离器的重量	75磅（34千克
控制器的大小	19。(w) x 8.5英寸。(D) x 1.75英寸。(H) （483 x 381 x 44 mm）
温度。，操作	50°to -F90°F (10 to 32°C)
温度。，存储	-40°to 255°F (-40 to 125°C)
湿度，经营	30-60％
需要力量	100,120,230或240伏特;50/60 Hz;<600瓦，CE符合要求
地板位移	< 480µ。(12µm)小于10 Hz
选项：TMC层压，不锈钢平台，框架，“立管”，水平设备，地震限制和终身活动

DC-2020控制器的关键参数如下表所示:

DC -2020控制器规格

物理维度	1.75"(45毫米)高x 19'(483毫米)宽x 8.5"(216毫米)D 连接架可安装可选支架
重量	6.3 LB.（2.9千克）
处理器	双核处理器150/75 MHz
采样率	10千赫
模拟输出	16个通道
模拟输入	16个通道
状态灯	一个领导
前面板港口	串行USB 2.0 串行微型USB. 以太网RJ-45 2 BNC连接器
后面板的港口	以太网RJ-45 串行USB 2.0 RS -232 DB-9传统串口（与Stacis 2100兼容）
用户界面	超级终端上的字符菜单基于Windows PC的扩展GUI 嵌入式以太网GUI控制页面