的年代猞猁来自Sensofar是一种新的非接触式三维表面轮廓仪，专为研究和工业应用的高度紧凑的高性能系统而设计。
这个紧凑和多功能的系统可以提供不同的纹理、粗糙度、波纹度和结构的测量，所有的各种表面尺度，使它适合于一系列高端表面测量应用。Sensofar的专有的三合一测量技术确保了系统提供理想的性能。SensoSCAN软件使系统的操作异常直观。
技术
的年代猞猁是一款高性能三维光学轮廓仪，将三种技术集成在同一传感器头上;共焦，干涉测量，焦点变化。
共焦
共焦剖面仪被设计用来测量光滑到非常粗糙的表面。光学剖面仪的最高横向分辨率由共聚焦剖面提供，将空间采样减少到0.01µm。这适用于关键尺寸的测量。
使用高NA(0.95)和放大倍数(150X)物镜可以测量超过70°的局部陡坡和高达86°的粗糙表面。使用专有的共聚焦算法，在纳米尺度上提供了独特的垂直重复性。
干涉测量法
白光垂直扫描干涉测量法（VSI）是一种常用和稳健的技术，用于测量表面特性，例如透明膜结构或拓扑结构。它非常适用于测量光滑粗糙表面，提供纳米垂直分辨率，而不管物镜的NA或放大。
焦点变化
聚焦变焦是一种用于测量大型粗糙表面形状的光学技术。基础上Sensofar的在合并共聚焦和干涉测量3D测量领域的广泛知识，该技术在低放大率下补充了共聚焦测量。垂直范围大，测量速度最高（MM / s）和高斜率表面（高达86°）是该技术的其他关键能力，使其成为工具应用的理想选择。
没有运动部件的共焦
共聚焦扫描技术用于Sensofar的系统使用专利微显示扫描技术。基于硅上铁电液晶(FLCoS)技术，这种微显示器创造了一种快速开关设备，没有任何移动组件。该设备能够快速、准确、可靠地扫描共焦图像。
配备了微显示及相关算法，提供了共聚焦技术Sensofar提供优于其他共聚焦方法的垂直分辨率，甚至比激光扫描共焦系统更好，所有都没有数据过滤。
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关键的设计特性
硬件
的年代猞猁由于其紧凑的设计，占地面积小，内置控制器和传感器头。该系统功能强大，性能可靠，安装方便。
系统的高稳定性是通过隔振垫实现的。大多数情况下不需要隔振台。
目标范围大
使用优质CF60-2尼康物镜为每个NA提供最大的工作距离。现有30多个目标。编码鼻镜的存在决定了物镜的变化，并自动改变软件。
适应性强列
由Sensofar允许高达150毫米的高度调整。由于灵活的选择，可以避免不同高度的样本之间的限制。
运动系统
的年代猞猁定位包括一个手动XY级，行程范围为150 mm x 100 mm，以及电动Z级，位置精度高，行程范围为40毫米。运动系统还具有尖端倾斜焦仪，导致旋转的旋转点保持焦点。
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