布鲁克的维度FastScan Pro系统使用开放式接入平台，大型或多个样本架，以及许多用户友好的功能，为工业FA，QC和QA应用提供高度灵活和高性能的纳米级计量解决方案。
维度FastScan Pro系统提供高度准确的测量和高分辨率成像。Peakforce Tapp.®实现稳定，高分辨率的AFM成像。创新技术允许针对用户样本上的任何原子定位力。高精度的探针样品控制允许大量的样品类型，从薄膜，电气样品和软聚合物到非常硬的材料。欧洲杯足球竞彩由于创新的探针技术，可能的最低成像力和许多参与和数据扫描的长期探针尖端。
维度FastScan Pro系统提供独特的定量结果。Peakforce Tappe的Piconewton力敏感性提供定量数据。它可以测量高纵横比沟槽的子纳米步骤。最大分辨率AFM地形满足八千米级测量的分辨率。此外，Bruker工业探针和Peakforce攻丝促进了高纵横比深度计量，这在该范围内的其他系统不可用。
可以评估具有可靠的生产中具有可靠分辨率的高卷数据。维度FastScan Pro系统使每个用户成为用户友好的AFM专家;AFM操作的复杂性也很大。扫描系统以及自动软件连续算法并自动检查图像质量并进行适当的参数修改。Automet™全refipe软件提供快速，自动计量，操作简单，可轻松捕获质量批判性测量。
尺寸平台具有半导体，数据存储，聚合物和HB导扇中的任何AFM的最大安装底座。
主要特点
FastScan Pro的主要功能如下所述：
- 专门用于工业环境的可靠性，建立的平台
- 显微镜提供增加的XY样品行程，以获得200 mm晶片或200毫米直径面积的多个样品（可选的夹头300 mm晶圆）
- SEMI，数据存储和HB-LED中的晶圆测量中的自动化2 IN-12
- 图标扫描仪，具有90微米的扫描范围，适用于较大的扫描和高精度地形性能
- 高吞吐量5-10x FastScan扫描仪，用于粗糙度，地形和其他计量分析
- 随着运营的降低成本是高效的
- 光学和AFM图像图案识别与尖端为中心以实现纳米对齐
众多样品上的自动测量
应用程序
维度FastScan Pro系统的主要应用领域如下：
- 数据存储
- 自动化半导体
- 磨损和太阳能
- 聚合物和薄膜
- MEMS制造业