的C11011-01光学测厚系统Hamamatsu公司推出的薄膜厚度测量系统采用激光干涉测量技术。它与生产中的在线测量有关。此外，一个可选的测绘系统可以测量指定样品的厚度分布。
C11011-01可用于从产品制造过程监控到质量控制的许多应用。
下载小册子获取更多信息
关键特性
- 60赫兹高速测量
- 测量图形晶圆片或带有保护膜的晶圆片
- 用红外光度法测定不透明(白色)样品
- 长工作距离
- 提供外部控制
- 映射操作
应用程序
- 电影——在液晶显示器、太阳能电池板、可充电电池等先进产业中，高功能薄膜越来越重要。为了提高这些产品的生产率和性能，滨松提供了全套的检验和测试设备。2020欧洲杯下注官网
- 半导体-光学量规系列应用于半导体器件的许多制造过程中，这些过程逐渐小型化，金属布线更多层，电压更低。这增加了yield的增强，并减少了开始处理所需的时间。
- 触控面板-尽管触摸面板的检测方案有很多，但这里以电阻膜制造过程为例，说明光学规系列在这一过程中的使用方式。
- 光伏——太阳能发电正在不断发展成为以减少温室气体排放等为目标的行业。此外，还有几家公司参与了提高发电或太阳能电池中使用的模块转换效率的研究。该系列光学测量仪可应用于太阳能电池或组件的制造过程中。
- 火焰光度-光学仪表系列可用于平板显示器(FPD)的许多生产工艺，如VFD荧光显示管、LED、有机EL、液晶和等离子显示器。