原子探针断层扫描(APT)是一种在原子尺度上提供三维化学成分和成像的材料分析方法。它适用于晶界偏析分析。APT分析需要类似透射电子显微镜(TEM)的样品制备，但它需要针状结构，而不是薄层。
对于位点特异性特征的研究，特征必须在尖端尖端~500 nm的范围内。用聚焦离子束(FIB)工具建立这类样品。在样品锐化的最后阶段，FIB的对比度趋于可以忽略或非常低，使得现场特定的测试困难。
原子探针辅助(APA)工具提供了一种新颖的方法来观察FIB铣削步骤之间的晶界位置。由于APA样品尖端是一个小的三维锥体，透射ebsd (t-EBSD)可以用来测量和成像晶体取向和建立晶界位置。
该工具改进了APT尖端的t-EBSD测量，包括APT尖端轮廓旁边的默认地图形状和图像处理方法，以改进不同样品厚度的样品的t-EBSD模式。
传统的EBSD可以在原址特定的FIB提升制备前建立样品的晶界位置和特征，从而允许测试特定的晶界类型。这是非常重要的，因为不同的边界类型有不同的偏析行为，影响材料性能。
通过在铣削过程中收集t-EBSD数据集，可以很容易地检测到晶界位置，当晶界距离样品尖端200 nm以内时停止铣削。制备和验证可以在FIB中完成，无需转移样品。
关键特性
《行政程序法》的主要特点如下:
- 智能摄像头优化-自动安装摄像头参数，从APT样本采集优质t-EBSD模式，进行精确数据采集
- 智能背景处理- t-EBSD背景处理是专门为改进不同厚度APT样品的模式而设计的，以允许精确的晶界位置和取向表征
- Hikari Plus EBSD相机-高性能/高灵敏度的EBSD相机，适用于最广泛的操作条件
- APT标本尖端映射模式-
- 地图形状模板设计，适合APT样品尖端形状，便于快速、高效安装和数据采集
- 样品铣削后，映射形状易于修改，映射稳定
- 图尺寸的空间指示，以确定晶界是否在与样品尖端所需的距离内
- 智能索引- t-EBSD模式分析，使用创新的三重索引，更好的空间分辨率的APT样本和索引率。
- Transmission-EBSD模式
- t-EBSD模式安装采集参数，自动从t-EBSD样本中收集良好数据
- 易于从t-EBSD转换到传统的EBSD采集，以管理APT样本分析和现场切片分析。
结论
Atom Probe Assist允许用户既准备标本，又获得高质量的结果恰当的分析比使用基本技术更快更容易。这个工具允许选择特定的晶粒边界类型作为准备一个在FIB制备过程中，PT试样尖端并观察晶界位置，以保证APT分析感兴趣的首选区域。Atom Probe Assist使APT用户能够更快地超越晶界偏析研究的边界。