先进,磁控溅射系统型号SC450

最新的高级,磁控溅射系统模型SC450来自Semicore是一种经济高效的高性能高度可靠的仪器。

是一家建立的设计师和制造商的精密薄膜真空沉积系统和产品。该公司的设计举措和工程能力有效地促进了创新磁控溅射系统的能力,质量和必要的经济性。

型号SC450可以容纳多个基板尺寸/形状,具有直径高达200mm(8“)的有源分解区域。它采用完全自动集成控制和多种工艺气体能力设计。

主要特征

SC450的主要功能如下:

  • 研究与开发原型
  • 共沉积或连续模式
  • 卷积小,快速循环处理
  • 多达四个来源
  • 磁控管源:50毫米(2英寸),75毫米(3英寸),或100毫米(4英寸)
  • 积分阴极快门
  • 基质;冷却,加热,RF / DC偏置
  • 原位阴极倾斜
  • 共聚焦阴极安排
  • HF RF或MF RF,DC,脉冲直流电源
  • 还提供了先进的FastCycle装载锁

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丹尼斯德纳利科博士,电气工程学院和计算机科学学院,马里博尔大学欧洲杯线上买球

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