SC943在线溅射系统

溅射系统模型之一SemicoreSC943在线溅射系统.这是一个快速循环负载锁定溅射系统,附带一个可选的基材热。

它有一个动态压力控制和使用多达四个高利用率的线性磁控溅射源。

该溅射技术包括直流、脉冲直流、射频和中频交流,由PC/PLC控制,操作简单,数据记录、在线支持、HMI和公差校验。

它采用RF蚀刻预清洁,并使用低温或涡轮高真空泵。

客户证明

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