semcore公司的先进的磁控溅射系统SC450-LL是一种高可靠性和高性价比的系统，提供高性能。Semicore是一家专业设计和制造精密薄膜真空沉积系统和产品的企业。
该公司的设计和工程能力有效地促进了创新磁控溅射系统的能力、质量和必要的经济SC450-LL．
的模型SC450-LL具有容纳多种基材尺寸/形状的能力，并具有高达200mm(8”)直径的有效分解区域。它具有完全自动集成控制和多过程气体能力。
关键特性
其主要特点SC450-LL如下:
- 研究和开发原型
- 共沉积或顺序模式
- 体积小，循环加工快
- 多个来源，最多4个
- 积分阴极快门
- 基板台面-冷却/加热，偏压/蚀刻，旋转
- 还提供了先进的快速循环负载锁定
- 持久的可靠性
- 磁控管来源:50毫米(2 ")，75毫米(3 ")，或100毫米(4 ")
- 共焦阴极安排
- 高频射频或中频射频，直流和脉冲直流电源
- 现场阴极倾斜
客户证明
semore Eq2020欧洲杯下注官网uipment, Inc.为我们提供了紧凑的溅射工具- SC250和SC450LL。两个工具都有高度集成的组件，包括磁控溅射，真空系统等，并有一个细长的设计，以适应任何有限的实验室空间。统一的图形界面是用户友好的，但也是强大和专业的，并允许通过简单的触摸屏控制所有系统组件。这两种工具都提供卓越的性能，包括高薄膜质量，卓越的跨晶圆均匀性和高产品吞吐量。这些工具是研发实验室或小批量生产的理想选择。我们对分科优质的客户服务也印象深刻。他们的工程人员知识渊博，负责任。他们致力于实现对我们的承诺，在系统/工具设置和正常的服务电话中提供优质的服务。我们很高兴能再次与这个团队合作。
于晓军，柔宇集团工程副总裁