推动PVD系统半是多室分解系统，它使用具有经济高效的模块化设计，便于轻松的配置来匹配一系列薄膜分解应用，主要用于研发或小批量生产。
最多三个处理腔室，每个腔室都是针对特定应用单独配置的，共用用于处理多个基板形状并尺寸高达200mm的中央负载锁定。
该系统具有集成的计算机控制以及基于指令的操作，数据记录和公差检查。
可以使用完整的标准替代品列表来配置Impel PVD系统为了匹配用户的特定需求。还提供舞厅或舱壁安装。
Impel PVD沉积技术
这Impel PVD.沉积技术如下：
- 电子束蒸发
- 瞥眼（高兴）
- 脉冲激光沉积（PLD）
- 磁控溅射：DC，脉冲DC或RF
- 阴极电弧等离子体沉积
- 有机蒸发：用于有机电子和镀层/ OLED
主要功能和选项
主要特点和选项推动PVD系统如下面所述：
- 泵送：低温或涡轮分子
- 真空室：最多三个独立的加工室，直径为16或24英寸，由不锈钢制成，以适应特定的应用。后室门门以提供服务和维护
- 铝制门与视口（标准）
- 基板保持器：旋转基板支架可以冷却，加热或偏置
- 装载锁：自动或手动传输，不同的基板形状和尺寸高达200毫米，真空泵高
- 气体和压力控制：动态压力控制，单或多MFC气体通道
- 监控：光学监测，晶体监测和特殊数据收集软件，用于胶片沉积的原位测量
- 离子源：IBAD辅助沉积，预清洗，铣削
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Semicore 2020欧洲杯下注官网Equipment，Inc。是开发自定义沉积工具的合作伙伴，其集成磁控溅射和过滤的阴极电弧沉积。该公司的任务设计和构建了真空系统，集成了所有组件并提供统一的图形用户界面迅速，专业地和规范完成。工程人员对技术和适用的代码知识渊博;这是团队工作的一个很好的例子，所有合作伙伴倾听他人的想法。该产品是一款建成，安全，易于使用的设备。2020欧洲杯下注官网我期待着与这家公司做更多的业务。
安德烈斯特，博士，高级科学家，劳伦斯伯克利国家实验室