太赫兹频率下晶圆上接触探测-太赫兹低温探针臂

Lake Shore Cryotronics公司的太赫兹低温探针臂是一种晶圆上接触装置，用于探测在太赫兹频率下的低温应用。它为下一代电子产品的研究和开发开辟了新的测量可能性。

低损耗太赫兹波导

高频接触测量需要仔细考虑，以知道信号的传输和从测试设备。当频率增加到75 GHz以上，并进入以前无法达到的太赫兹(THz)频段时，使用当前的波导，信号可以在小到几厘米的路径上迅速下降。

这个问题通常用室温探测解决方案来解决，这是通过减少频率检测器模块/扩展器源和探头之间的路径长度来完成的。然而，在体积庞大的模块侵入样本空间之前，可以减少连接波导，使手臂的可移动性变得复杂，并限制了添加额外探头的选择。

在低温探针站中，需要相当长的信号路径为25厘米，需要导航站的内部结构和真空室。岸湖最新太赫兹低温探针臂与特别开发的低损耗太赫兹频率波保证优越的信号完整性在这些更长的距离。

应用程序

• 包含具有适当频率扩展器的网络分析仪
• 使用典型的RF / DC /微波探头臂联合两个THz探头臂，共有六个并发触点探针
• 用于75 GHz和以上的THz频率的毫米波装置的毫米波装置的毫米波装置用于垫湖湖泊低温探针站。

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太赫兹低温探测臂的组成

探针手臂

的太赫兹低温探针臂是用于湖岸探测站的高频选项。它可以安装在臂位置2或5在兼容的工作站。

该选项包括一个三轴微操纵级，焊接由不锈钢制成的波纹管，包括：

• A直流偏置端口
• 配置用于第三方频率扩展器的馈通端口和安装平台
• 探头臂和基座，内置θParararization
• 高频波导，选择匹配频率扩展器的带宽

只有探针臂是由湖滨．第三方提供其他所需元素，例如探头和频率扩展器。

频率扩展器

目前,湖滨探针臂支持Virginia Diodes, Inc.的MiniVNAX扩展器。VDI扩展模块与Keysight、Rohde & Schwarz和Anritsu等供应商提供的最先进的信号分析仪和矢量网络功能。

VDI模块在一个频段范围内提供，其中每个频段需要略有变化的输出耦合配置。Lake Shore的波导拓扑必须与扩展器模块的频段相匹配。

探针

的太赫兹低温探针臂协助Dominion Microprobes开发的定制探针。可以在合适的位置上安装2或5个这些臂。T-Wave™探头由Lake Shore或Cascade Microtech公司提供。

微加工的GSG探头具有低插入损耗耦合到探头电路的直流和DUT偏置。该探头经过低温认证并进行热锚定，以减少对DUT的热传递。一个传感器被附加到跟踪探头温度。

变温高频研究

的太赫兹低温探针臂通过早期研究人员需要的非常低的温度和高磁场，可以实现微调的S参数和额外的高频测量。这为下一代电子产品中的研发提供了新的测量可能性，例如量子计算和射频天文学。

S参数测量

散射参数（S参数）说明了设备的频率相关的电气行为，其是电压信号和稳态行波电流。

可以使用单端口或双端口配置。根据信号的方向，发送或接收，反射(S₁₁,年代₂₂）和传输（s₁₂,年代₂₁)元件被单独测量，以提供整个设备概要。

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