薄膜沉积-沉积过程的全面控制软件- AERES

我们设计AERES来智能统一控制薄膜工艺的每一个方面,从材料管理到非常复杂的多层薄膜架构的创建。欧洲杯足球竞彩

认识与我们的一个PVD平台或集群系统合作,您有一个强大的简单工具,将节省您的大量时间、精力和资源。它的能力足以为最先进的用户和复杂的食谱,但也足够简单的每一个用户在您的实验室。

配方控制

AERES将整个过程统一为一个可执行配方,包括:

  • 预沉积-晶圆制备,源加速和稳定
  • 层控制-厚度,速率,模板和源空转
  • 舞台控制-加热,冷却,旋转,角度和偏压
  • 气体和压力-压力稳定,气体输送精确
  • 自动化-按下启动和离开系统做一切

您可以根据需要创建简单或复杂的过程,使用加载的模板,或从头构建自定义序列,甚至可以从远程计算机构建您的菜谱,然后无缝地将其转移到沉积PC终端使用。

AERES可以完全自主运行,如果需要,你也可以在配方中建立手动控制。统一的数据管理系统收集并记录所有相关的进程信息。

层转换效率

因为认识控制流程的每个方面,它有能力通过最小化冗余和控制多个参数来大幅提高效率同时

并行任务管理允许源在需要之前预热,因此可以快速连续地存储层。这种并行任务管理包括源准备、掩模和样本传输、电源和温度提升以及阶段准备。

从表格中可以看出,我们的合作伙伴报告称,通过该技术,我们的转换时间减少了45%,整体器件制造时间提高了30%。

先进的沉积控制

我们的合作伙伴实现了前所未有的低利率稳定。AERES包括先进的自动调整与用户可调PID检测算法。在下面的例子中,一个普通的OLED材料(Alq3)的稳定性达到了0.02埃/秒。

现在有时间

认识可以在我们所有的平台上使用。请今天与我们联系,讨论您的工艺要求,以及AERES如何提高您的实验室效率。

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