这低温硅分析系统Bruker的（冷冻体）是一个专门的多一体系统，专为硅的低温（<15K）杂质分析而设计。该系统经过优化，用于在工业环境中使用。
冷冻剂结合了Bruker的高性能FTIR光谱仪与不液态氦气的集成，闭合的冷冻冷却技术。冷冻剂的所有组件都是最先进的，但它们仍然利用经过验证的技术在苛刻的硅生产环境中进行复杂的分析。冷冻素可以在高自动化级别上运行，包括准确报告测试结果。
功能包括
高灵敏度
根据ASTM/SEMI MF1630标准，冷冻剂分析将浅杂质（例如磷，硼等）降至低PPTA水平。此外，根据ASTM/SEMI MF1391标准，它同时将氧和碳分析至低PPBA水平。
在低温（〜12 K）下，碳和磷（见下文）的碳和磷（见下文）的测量结果（〜12 K）。
闭合循环低温制冷系统：无需昂贵的液体冷冻剂
冷冻剂包括用于检测器和样品室冷却的高度可靠的封闭循环冷却技术。这种封闭的周期系统可以节省每年50,000欧元的运营成本，甚至更多。
低温样品隔室具有自动9位置样品架。
冷冻A主屏幕显示当前已加载的样品和所选分析方法。
不锈钢样品室设计：易于样品访问
冷冻剂具有经过验证的样品室设计和自动样品头和固定光学元件。样品室的大内径可轻松进入样品持有人。
干式泵和涡轮泵：简单清洁的真空系统操作
冷冻剂通过干燥的前泵和涡轮泵提供可靠而快速的疏散。
坚固的，精确的步进电动机阶段，具有九个位置样品持有人：
连接到样品持有人的坚固翻译阶段允许多次样本分析。实心翻译机制和高扭矩电动机提供精确的样品索引和多年可靠的功能。可以轻松地安装和删除样品，并且可以轻松地将样品持有人连接到样品室中。样品持有人的镀金铜设计可确保均匀的温度。
使用方便
冷冻剂经过优化，用于在工业环境中使用。PLC控制所有真空和制冷设备。通过简单的按钮操作进行测量和冷却。用户不必是真空专家或光谱专家即可执行操作。
Cryosas的专用软件旨在满足工业质量控制的要求。它可以通过触摸屏轻松使用和操作。用户可以简单地选择首选分析方法，输入示例信息，然后按开始按钮。然后，冷冻体将自动冷却样品，开始红外测量，评估结果并创建分析报告。
规格
光谱范围：1500 - 280厘米-1改进以检测
- 第三组和V浅杂质根据ASTM/SEMI MF1630标准，在单晶Si中。对于厚度约为3 mm的楔形样品，可以达到以下检测极限：
- 替代碳根据ASTM/SEMI MF1391标准。与样品样品相比，该方法需要具有厚度和表面特性的无碳参考样品。对于厚度约为3毫米的楔形样品，可以检测到碳浓度低至20 ppba。
冷冻体中使用的技术受到以下一项或多项专利的保护：US 5309217；DE 4212143;美国7034944;美国5923422;DE 19704598
典型的冷冻分析报告包括所有相关信息和结果。