ZYGO的NewView™8000系列3D光学表面轮廓仪在非接触式光学表面分析中提供强大的多功能性。它们进行快速,无损测量,无需样品制备。高级软件工具用于表征和量化表面粗糙度,临界尺寸步高度,以及具有优异精度和精度的地形特征。
型材高度可以从1nm到20000μm变化,高速,无论放大,表面纹理或特征高度如何。
NewView 8000系列分析器使用Zygo的专利技术进行一致扫描干涉测量(CSI),以轻松测量各种表面类型,包括平坦,光滑,粗糙,阶梯和倾斜。
性能、价值和通用性
这NewView 8000分析器有两种配置可用:三重缩放配备纽维威8300系统,以及单个Zoom NewView 8200配置。
无论选择模型,所有纽维尤8000系统都提供了易用性,高精度测量,并以有吸引力的价格具有广泛的应用,使系统成为3D光学分析器中的值和多功能性的完美选择。
高级分析和控制软件
NewView 8000系列使用全新的MX™软件全新系统控制和数据分析,包括直观的测量导航,定量地形信息,丰富的交互式3D地图,内置SPC,具有统计数据,通过/失败限制和控制图。
- 灵活分析-广泛的数据视图,定量结果,和过滤器包括在内
- 直观的用户界面基于工作流的设计使其易于学习和使用
- 交互式3D情节-缩放,旋转,平移,并实时更新结果
- 内置SPC分析工具轨道流程统计信息,监视传递失败标准和跟踪结果
用于特定要求的其他应用模块,例如2D视觉分析和在存在透明电影中的测量,可用于需要这些能力的客户。
MX软件屏幕(点击图片以获取较大的视图)
Newview 8000系列光学分析系统
灵活配置
NewView 8000分析器包括一个开放式工作区域,具有清晰的视线,可以快速简单地帮助制作转换和测量设置。系统可以提供各种样品分期,从完全手动X / Y和倾斜级分段,到完全自动阶段,具有4度倾斜和150 mm的行程。
紧凑尺寸和集成隔离系统使系统适用于台式安装,可选的支架和工作站使其成为理想的生产式系统。
开放式工作区具有清晰的视线
主要特征
NewView™8000系列3D光学表面分析器的主要功能如下:
- 快速的非接触式测量
- 亚埃精度
- 增强光学成像
- 高级3D表面可视化
- 领先的精度和计量能力
- 两种型号可供选择:三重缩放或单个缩放