ZYGO是外差位移干涉测量技术和应用支持领域的领导者，通过其独特的技术为OEM计量应用提供完整的解决方案和支持ZMI公司™ 串联位移测量干涉仪. 该公司的OEM产品和技术已在领先的生产设施中使用多年，并在现场得到验证。
主要特点
ZMI的主要特点™ 系列如下：
- 外差位移干涉法
- 能够支持多个轴的单个激光源
- 易于校准，高度稳定，对信号幅度变化不敏感
- 高信噪比相位测量可实现高精度并消除错误计数，即使在零转换率下也是如此
- 对于OEM应用程序非常健壮
典型应用
ZMI的典型应用™ 系列如下：
- 校准：测量和校准高频率或高分辨率的机械运动
- 光刻工具：电子束和激光掩模书写器、光学步进器和扫描仪
- 工艺设备：探针，2020欧洲杯下注官网内存修复工具，钻孔工具，和芯片键合机
- 计量工具：晶圆、掩模和LCD测量和检查工具，以及CD SEM
配置系统以满足特定需要：
ZYGO提供多种
这种模块化的方法使用户能够通过选择最合适的组件来配置一个理想地满足其需求的系统。