使用ZYGO的大口径系统维护两个独立的计量光斑

ZYGO的水平轴大孔径系统提供了独特的能力，维持两个独立的计量腔;其中一个干涉仪孔径(4”)，另一个选择四束扩展器直径(12”，18”，24”和32”)。

当配置适当的附件时，这些系统可以用来测量表面形状以及透射波前质量。

的大孔径系统由:

• 干涉仪主机(Dynafiz™或Verifire™)
• MUX立方体(可切换镜组件)
• 光束扩展器(可选直径12"，18"，24"或32")
• 相位测量插座(适用于12"和18"系统;24英寸和32英寸使用波长移动主机，不需要PMR)
• 参考光学-根据光学配置需要传输和参考平面
• 安装座-可提供测试光学和参考光学的安装座

大口径系统组件可以从干涉仪主机单独购买。

Verifire XL

verfire™XL干涉仪系统是一个独立的大孔径工作站，用于测量直径达12”(300毫米)的平面。例如窗口、前表面反射器和半导体晶圆或晶圆卡盘。

该系统是向下的配置，在大多数情况下不需要特殊的零件夹具。操作者可以简单地将测试部件放置在倾斜/尖端工作台的平面上，并将整个工作台滑动到测量孔下。

由于占地面积小，verfire™XL干涉仪在用户的生产设施中需要最小的宝贵空间。用户需要的一切都是内置的，包括隔振系统。传输平面也是集成和预对准的，不需要调整。这增加了吞吐量并简化了操作。

ZYGO独有的QPSI™采集技术也包括在内，消除了条纹“打印通过”。这反过来又能在生产环境中经常发现的振动存在时进行可靠的高精度测量。