SEM和FIB测量- FT-NMT03纳米机械测试仪

FT-NMT03纳米机械测试系统是来自Femtotools的纳米菌卵系统,用于直接和准确,原位SEM / FIB测量纳米结构的机械性能。

当使用位置编码器计算它们的载荷时,可以使载荷在纳米结构上施加到纳米结构上时,使得诸如拉伸,压缩,断裂或循环试验等原理。

从产生的力-变形(应力-应变)曲线,这些纳米结构的材料特性被定量确定。此外,通过与具有电连接特性的样品支架的结合,可以量化纳米结构的综合电学性能。

大多数纳米机械计量应用在测量过程之前需要复杂的样品制备步骤。因此,FT-NMT03还具有微纳米处理能力,使用锋利的力感钨针尖或力感微钳,可以将纳米结构拾取、放置和连接到测试基板上。

这种电力计量和纳米处理能力的组合为几种纳米机械测试应用提供了完整的解决方案。

由于FT-NMT03纳米机械测试系统的紧凑尺寸,该仪器可以用于几乎任何全尺寸的SEM/FIB。该系统可以在几分钟内轻松安装和卸载。

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特色

带有两轴样品台的三轴测试平台

FT-NMT03有一个纳米分辨率的三轴纳米定位平台,用于安装FT-G微夹持器和FT-S力传感探头。样品夹是一个电动的两轴旋转工作台(俯仰/夹爪),用于不同角度的机械测试。所有直线轴都配有光学位置编码器,用于自动测量任务和闭环操作。可选地,可以为旋转轴配备编码器。

高分辨率piezoscanner

采用电容式位置反馈设计的线性挠性压电扫描仪,可实现分辨率可达0.05 nm的快速连续测量。

安装底座和电馈线槽

几乎为任何扫描电子显微镜系统提供了机械适配器底座和电进料槽。

SEM存根和电气测试模块

适配器单元安装在不同的高度的扫描电镜存根提供,以允许测试在扫描电镜的光学工作距离。除了标准的SEM存根外,还提供带有电气衬垫/连接的样品夹,用于同时进行电气和机械MEMS/NEMS测试。

FemtoTools软件套件

MS Windows的软件套件能够进行plug-and-measure类型的纳米机械测试(例如拉伸/压缩测试、纳米压痕、蠕变测试、循环测试、自动化线/阵列测量)和纳米组装。此外,还提供了一个基于NI LabVIEW的库,用于定制微机械测试程序的开发。

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典型的应用程序

Micropillar / Nanopillar压缩测试

为了优化和开发新型高性能材料,原位扫描电镜微柱压缩是一种重要工具,因为它可以在加载过程中实时欧洲杯足球竞彩可视化柱。

纳米纤维拉伸试验

使用FT-NMT03可以进行微纤维和纳米纤维的拉伸试验。典型的原位SEM测量包括循环测试,蠕变测试和刚度测试。另外,复合材料中的纤维的粘附力经常表征。欧洲杯足球竞彩

胶囊、颗粒或悬臂的测试欧洲杯猜球平台

为了有组织地开发新材料和理解物理过程,对微胶囊、粒子或悬臂梁等样品进行了原欧洲杯足球竞彩位扫描电镜压缩试验。纳米力学测试可以与专门的扫描电镜检测器(如EBSD)集成并同步。

机电MEMS / NEMS测试

MEMS/NEMS定期测试的力学参数包括屈服强度、杨氏模量、挠度、线性度、刚度、粘结力、蠕变、作动器力、迟滞和形貌。

Micro-handling和Micro-assembly

微处理常用于SEM内部的样品制备。

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