使用ZYGO罗盘™为离散微透镜设置自动化、非接触式3D表面测量和过程控制的基准

ZYGO的指南针™计量系统为离散微透镜和模具制定自动化、非接触式3D表面测量和过程控制标准,而这些微透镜和模具对于小型成像系统(如智能手机、平板电脑的相机和汽车视觉系统)至关重要。

根据用户的计量需求,罗盘™系统有两种型号可供选择。

  • 指南针- ZYGO最新的微透镜表面形状和偏差、形貌和相关/尺寸参数的精密计量解决方案。对于需要充分表征非球面或球面微透镜及其对准特性的应用,这是合适的选择。
  • 指南针RT-快速和灵活的系统精密测量微透镜尺寸/相关参数,加上基本的轮廓测量应用。当不需要形式偏差计量时,这是合适的选择。

Production-Proven技术

ZYGO的光学分析器技术是罗盘系统的核心,该系统基于相干扫描干涉(CSI)技术。它为可重复计量和生产过程控制提供了业界领先的精度、速度和多功能性。

非球面形式和偏差计量以及校准属性的尺寸/相关计量是Compass™和Compass™RT所特有的。

形式和偏差

  • 总表面,非接触,表面形式的三维映射非球面或球面透镜和模具
  • 快速和自动识别过程不对称
  • 亚纳米高度精度的表面形态和偏差,拥有数百万数据点
  • 形式偏离设计处方的高级分析

关系/维计量

  • 基准面和透镜对基准面的表征
  • 单面或双面透镜元件机械设计特征的定量计量和检验
  • 晶状体先端高度,中心厚度,集中度和先端到先端集中度
  • 向心性联锁直径
  • 环形基准面的平整度、平行度、厚度和楔块

强大的分析软件

ZYGO的综合Mx™软件平台为Compass系统提供动力,提供数据采集、仪器硬件自动化、分析和可视化等主要功能。Compass系统的多功能架构支持广泛的零件和计量参数的测量,包括离散透镜和模具引脚。

非球面微透镜销模原型,显示生产透镜的大小从3到6毫米。Compass™系统可以测量所有这些关键参数,甚至更多!

非球面微透镜销模原型,显示生产透镜的大小从3到6毫米。Compass™系统可以测量所有这些关键参数,甚至更多!

Compass™-提供微透镜非球面形状、偏差和地形的精密测量,以及罗盘RT系统提供的相关/尺寸参数。

Compass™-提供微透镜非球面形状、偏差和地形的精密测量,以及罗盘RT系统提供的相关/尺寸参数。

罗盘™RT -提供精密测量的微透镜关系/尺寸参数,加上一般的轮廓测量应用。

罗盘™RT -提供精密测量的微透镜关系/尺寸参数,加上一般的轮廓测量应用。

相关/尺寸透镜参数-基准面和透镜到基准面

相关/尺寸透镜参数-基准面和透镜到基准面

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