划线重新发明。这FLIPE®使用户能够在划线后面查看和定位前侧目标。张开是一种快速,准确,经济效益,稳定,紧凑的划线解决方案;适用于任何实验室,无需公用事业。可以实现划线精度,而不会使用固定的鲁棒型划线划线对样品表面造成任何损坏,该毛笔通过栅栏导向器设计成示例平台。
好处
百分点的主要好处如下:
- 没有划线损坏样本前面
- 相对于样品形状和尺寸和材料柔韧
- 划线精度±200μm(可实现的)
- 允许精确和可重复的缩小化
- 能够划合粘合的结晶和无定形晶片和芯片以供随后切割
- 通过前侧目标可以精确地切割划线目标,该划线在基板的背面制成的划线
- 确保直接和精细的划线,用于清洁,直线切割
- 快速而易于使用
- 用户维护不需要服务合同
特征
张开的主要功能包括以下内容:
- 该工具纯机械,因此不需要电源
- 抄写员的长度从1毫米到100毫米变化
- 预先实现的多面钻石滚动是用户可更换的墨盒;角度和高度可调
- 嵌入在表面中的标尺允许精确定位抄写员相对于前方的特征;(正面用立体镜或眼睛观察)
- 用于晶圆和小块的可选样品架使得可以关闭,可重复的过程保持样品清洁和安全,同时确保直接划线
配件
下面提供了张开的配件:
MC-FSWH2S 1.5“平方架
MC-FSWH45保持器45度旋转光刻
MC-FSWH2 2“圆形晶圆架
MC-FSWH3 3“圆形晶圆架,用于闪烁
MC-FSWH4 4“圆形晶圆座,用于闪烁
CWBR-100清洁钳CWBR-100清洁钳
小样品切割钳
闪烁更换墨盒
用张力缩小硅(111)晶圆