的希登AutoSIMS是一个自给自足的，自动化的，SIMS工具，旨在执行例行和重复的表面分析。它是完美的测量薄膜，污染和掺杂从顶层单层到许多微米的绝缘和导电材料。
样品通过模块化盒式样品支架装入Hiden AutoSIMS中，并使用计算机驱动的高精度工作台进行定位。存储在系统中的离子枪和分析配方将在100%自动模式下运行该工具，以电子表格或自定义格式报告结果。长寿命氧离子枪为整个工作日夜提供稳定的光束，提供表面光谱和三维深度剖面。分析位置和配方也可以建立使用一个简单的电子表格，允许非技术用户轻松地完成一个复杂的实验矩阵。
虽然该工具的设计是由非专业技术人员操作，但更高级的用户可以使用完整的SIMS参数范围，AutoSIMS本身可以作为一种具有挑战性的研究工具，提供无与伦比的深度分辨率和拥有成本。
应用程序
AutoSIMS应用于以下领域:
- 涂料
- 薄膜
- 表面改性
- 重复的分析
- 产品监控
- 多个区域
- 大面积
特性
AutoSIMS的主要特点如下:
- 大型X-Y样品台
- 100%自动化，无人值守，SIMS分析
- 可定制的盒式样品持有人
- 灵敏分析用氧离子枪
- 纳米深度分辨率
- 参数可以通过电子表格指定
- 模块化维修，高运行时间
- 3 d特征
软件