这个SiBrickScan来自Bruker的（SBS）是一个专用的在线系统，用于FTIR量化完整硅锭中的间隙氧，从而形成沿纵轴的浓度分布。在不锯切晶圆或试样的情况下访问此信息被认为是一个显著的成本节约优势。
获取有价值的信息，以验证和优化产品质量
硅锭的氧梯度可以得出重要结论，例如，帮助识别不良原料批次或监控和优化硅结晶过程。因此，SBS将通过优化产品质量和减少缺陷晶片数量来帮助节约成本。通过r单个铸锭的随机抽样。该抽样也提供了更早的适当信息。
通过最先进的FTIR光谱技术获得最高灵敏度
通过FTIR光谱（ASTM/SEMI 1188）对间隙氧进行定量是一种成熟且重要的分析方法，但仅限于低mm范围内的薄硅样品。
SBS克服了这一限制，是第一个商用的完全专用系统，用于确定沿长轴的完整钢锭中的氧梯度，而无需耗时和破坏性的薄样品制备。
SBS有效地利用了相关的红外泛音吸收带，并结合了可靠和最先进的Bruker FTIR技术。
技术细节
不同铸锭类型的专用SBS版本
SBS可用于单晶或多晶标准方形光伏锭（横截面~156 x 156 mm2.)也适用于圆柱形硅锭，例如直径约150毫米（6英寸）或约200毫米（8英寸）。
工业兼容和稳健的设计
精确而坚固的线性驱动自动控制钢锭测量位置：根据钢锭类型和配置，可沿钢锭轴实现~12 mm的空间氧气分辨率。安全可靠的联锁机构消除了操作员接触运动部件的风险。
直观易用的软件界面
SBS配备了针对工业环境优化的直观和专用图形用户界面。正常生产工人可在几分钟内学习操作程序：只需加载铸锭，选择所需的分析配方，然后开始测量。然后自动进行测量，包括乌丁数据评估。
包含参考样品的创新高灵敏度光束路径
创新独特的红外光束路径保证了最高的测量灵敏度。仪器中已包含高质量的参考样品，并自动执行参考测量。
根据客户要求选择探测器
SBS可配备斯特林制冷探测器，独立于液氮工作。也可以选择订购带有液氮冷却检测器的SBS，包括自动加注装置。
应用
在不制备薄样品的情况下对间隙氧进行定量
SBS允许对长度达500 mm的硅锭中的间隙氧进行分析。这一重要信息有助于在锯切前对单个硅锭进行鉴定，并优化结晶过程。
与ASTM/SEMI 1188直接相关的高质量校准
SBS氧气评估使用直接源自/链接至ASTM/SEMI 1188的校准。由于两种方法的相关性几乎完美，因此以最高精度评估间隙氧气浓度。
SBS的最高检测灵敏度
SBS可获得小于2 ppma（<10 ppma）的间隙氧检测限17/厘米3.)取决于样品特性（例如电阻）和形状。