最新的Verifire HDX干涉仪ZYGO是为高性能光学元件和系统的中空间频率内容特性而设计和建造的。该系统具有流行的verfire HD的所有优秀特性，如QPSI和长寿命稳定激光器，并增加了关键的改进，如新的最佳成像和高仪器传递函数(ITF)的分辨率，突出的中空间频率内容和高斜率表面偏差的特性，以及ZYGO的dy萘酶®动态采集方法，消除了振动问题，几乎可以在任何环境下进行精确测量。
为最佳分辨率和性能而设计
verfire HDX系统采用全新的光学设计，经过精心设计，支持其3.4 k x 3.4 k(11.6百万像素)传感器的像素限制性能，提供改进的成像，揭示低分辨率干涉仪难以区分的表面特征。这种超高的空间分辨率并不影响速度。该系统工作在96赫兹的帧速率，在全分辨率-高达10倍的速度比其他高分辨率干涉仪，可能有狭窄的能力，因为噪声进入更慢的测量。
功率谱密度(PSD)和衍射分析工具完善了verfire HDX系统的中空间频率特性，并通过简单直观的用户界面分析和报告详细的表面特性。
光学表面测量中的中空间频率含量
优越的参考光学和配件
UltraSphere™和UltraFlat™参考光学是在λ/40 PVr或更好的认证，并建立了严格的PSD签名控制，以减少中空间频率内容。这些高精度参考光学元件建议与verfire HDX干涉仪配合使用，以实现系统的整体性能。UltraFlat Transmission Flats无论在水平或垂直方向上使用，都能满足这一水平的精度，这为用户的测试设置提供了更大的灵活性。
超拉和超球λ/40透射元件
Mx™软件
ZYGO专有的Mx™分析软件提供广泛的操作功能和完整的数据分析套件，包括Zernike, PSD/MTF/PSF，斜坡，角立方体，棱镜角度，等等。这个功能齐全的数据采集、仪器控制和分析软件包具有与运行自动化、制造过程和报告关键的中空间频率特性相结合的工具。界面简洁智能，曲线学习简单，操作高效。它还包括基于python的脚本和远程访问，以获得最高的灵活性，并集成到复杂的测试设置中。
Mx Software, Zernike分析结果
仪器传递功能-它是什么，为什么重要
多年来，光学表面已经被识别为形状误差，但随着对光学系统性能的需求增长，控制中空间频率(MSF)特性的重要性也在增长。严格控制MSF特性需要减少光散射和提高光学效率的极端性能的应用。
小工具确定性抛光方法，这是非常有效的固定形式误差，也可以将未经请求的中空间频率内容添加到光学表面。基于表面特征的斜率和频率，传统的干涉仪系统——它们非常适合测量表面形状——由于分辨率有限，无法测量和量化高频表面特征。缺乏分辨率意味着更高频率的细节被衰减，可能不会在测量结果中显示出来。
这里是仪器传递函数(ITF)的切入点。一个干涉仪系统将基于它的设计(相机，光学设计，波长)衰减表面信息，建立它的ITF…它能够测量光学表面的空间频率含量．verfire HDX系统具有高分辨率3.4 k x 3.4 k传感器和增强的光学设计，比所有其他商业可用的干涉仪系统具有更高的ITF，使其成为可靠测量和量化光学表面中空间频率特性的重要工具。这为光学设计师提供了能力，以确定光学表面到更高的精度，并概述ITF测试要求，以匹配系统性能目标。
啁啾伪影的相位测量数据随频率的径向变化，40 nm阶跃高度不变，以及(下图)啁啾伪影的轮廓，显示测量的阶跃高度随空间频率的增加而减小。
ZYGO的verfire™高清干涉仪和Nomad™光学轮廓仪在2016年Photonics West展会上展示