TurboDisc®K465I™GAN MOCVD系统是veeco的K系列平台的最新进入，该平台是生产经过的生产，并提供高生产率和全球HB的LED大批量生产Fab。K465I由于其优异的均匀性和优异的运行可重复性而达到高达90％的收率（5nm箱）。K465I还提供业界最高的生产率，因为它的完整自动化和维护后缩短了恢复期。
主要特征
- 将业界的最高资本效率与最高的生产率和最佳产量相结合。
- 基于生产证明，高吞吐量K465平台
- 在晶圆均匀性和最终的过程重复性内采用新的统一FlowFlange®技术，以获得最高的晶圆均匀性和最终的过程重复性
- 简化的设计提供了易于调整，以便在维护后快速的生产资格和快速恢复
- 低维护Turbodisc®技术可实现最高的系统可用性
- 最低拥有成本，以获得最大盈利能力