林泰克700系列微波钻石CVD系统来自Lambda Technologies

达泰克700系列微波金刚石CVD Systems掺入效率和控制高效率和控制的经过可调谐谐振腔技术。

主要特征

• 精确等离子体控制
• 高效能量耦合
• 灵活的处理选项
• 普通的表现
• 均匀沉积和高速率
• 完全集成的系统
• 流程开发服务
• 洁净室兼容

用于研发和生产的集成系统

• 计算机控制自动循环分析和集成微波，气体处理和真空模块
• 腔室调谐谱的远程位置控制
• 从1.2 kW到10kW 2.45 GHz的电源选项
• 从20到00 Torr的过程参数
• 完整的工艺气体