这Voyager™建造是为了处理所有工业和学术电子束光刻应用，其中关键目标是最大分辨率和高写入吞吐量。
除了最近开发的创新电子文凭系统架构外，raith还可以在整个系统的寿命中确保价格/性能比率满意度。
硬件和软件已稳定设计用于自动曝光操作。创新的高性能图案发生器和电子光学器件完美对齐。
高达八英寸的样品高速暴露。即使在充满挑战的环境中，通过热稳定和环保的外壳，也可以保证所需的系统稳定性。
Voyager产品详情
主要应用程序
- 高速直接写
- 衍射光学元件
- 反假冒安全元素
- 批量化合物半导体器件制造
柱技术
阶段
独特的写作模式
使用它的创新建筑Voyager允许E-Beam写入器的成本效益“贯穿墙装”设置。图像信用：raith
超高分辨率光刻系统
- 从第一个设计到完成样品的可靠速度
- 先进和未来的安全系统架构
- 智能设计：小型系统占地面积和封闭环境
- 专用电子束光刻写入的优异拥有成本，速度超过1cm²/小时
电子技术
莱特斯新型电子束技术将专用电子束光谱光学与创新的模式发生器设计相结合。该技术适用于研发和批量生产中的所有工作。
Voyager应用程序
HSQ中的7 nm行（图像积分：raith gmbh，dortmund）
在PMMA（Bi-Layer）中150 nm门（图像积分：raith gmbh，dortmund）
苏-8的1x1cm²菲涅耳透镜中的中心写入53分钟（图片信用：raith gmbh，多特蒙德）
Zep520A的光子水晶波导（图像积分：约克大学托马斯克劳斯）
1x1cm²光栅在左右250秒钟内在不到两小时（图像积分：raith gmbh，dortmund）
在高吞吐量和高分辨率模式之间自动切换（在40A的160μm和0.4 na的10nm之间）
