FilmTek™2000SE是一款高性能光谱椭偏仪，用于薄膜表征，测量从深紫外到近红外(190-1700nm)。基于旋转补偿器设计，FilmTek™2000SE光谱椭偏仪结合了光谱椭偏仪和多角度反射仪，使其非常适合测量非常薄膜的厚度和光学常数(n & k)。除了光谱椭偏仪和DUV反射仪外，FilmTek™3000SE光谱椭偏仪还增加了透射测量能力。FilmTek™2000SE光谱椭偏光仪利用SCI的材料建模软件，为同时测量薄膜厚度、折射率和消光系数提供负担得起和可靠的薄膜测量工具。
- 多角度偏振光的光谱反射(190nm-1700nm)
- 带旋转补偿器的椭偏光谱仪(300nm-1700nm)
- 独立测量薄膜厚度和折射率
- 采用SCI专利的差分功率谱密度(DPSD)技术的多角度差分偏振(MADP)技术
- 非常适合测量超薄膜(0.03 Å在天然氧化物上的重复性)
- 用于各向异性测量(nx, ny, nz)的可选广义椭偏仪(4x4矩阵概化法)
- 非常适合测量先进的薄膜
FilmTek™2000SE椭偏光谱仪
- 多功能:FilmTek™2000SE光谱椭偏光仪集成了SCI的广义材料模型和先进的全局优化算法，可同时测定:
- 多层厚度
- 折射率[n(l)]
- 消光(吸收)系数[k(l)]
- 能带隙[例如]
- 组分和空隙率
- 电影梯度
- 低成本:拥有FilmTek™2000SE光谱椭偏仪的成本与同类仪器非常有竞争力。
- 不需要特殊知识:FilmTek™2000SE光谱椭偏仪软件的设计是为了在个人电脑，薄膜光学设计，或测量技术的最低经验是必需的。
- 完整的“turn key”系统:一个完全集成的光谱椭偏仪测量系统，具有校准、采集和分析软件。
- 非接触式和非破坏性。
- 灵活:FilmTek™光谱椭偏仪的硬件和软件可以很容易地修改，以满足独特的客户要求。
- 可选功能:
- 计算机控制的自动化舞台。
- 盒式磁带晶圆处理
- 小点尺寸（50微米）
- 模式识别(Cognex)
FilmTek™2000SE椭偏光谱仪应用
几乎所有厚度从1埃到大约150微米的半透明薄膜都可以使用FilmTek™2000SE椭偏光谱仪进行高精度测量。典型的FilmTek™2000SE椭偏光谱仪应用包括:
- 半导体和介电材料欧洲杯足球竞彩
- 电脑磁盘
- 多层光学镀膜
- 镀膜玻璃
- 光学增透膜
- 薄金属
- 光电材料欧洲杯足球竞彩
- 太阳能电池