用PicoSun®P-1000 ALD系统的医疗设备和PCBAS上的防护涂料

picosun^®P-1000 ALD系统是为一系列3D物体的大型批量涂层而设计的，如机械机械零件，硬币，手表零件和珠宝，玻璃或金属板，PCBAS和医疗植入物。

技术特色

典型的基板尺寸和类型

• 小型和大型3D物品（例如，玻璃或金属板，硬币，机械零件，珠宝，医疗植入物）

加工温度

• 50 - 400°C

典型的过程

• AL.₂O._3.，Zno，Tio₂

基材装载

• 使用装载附件（例如，叉车推车）手动加载

前体

• 等级传感器，清洁和refill服务
• 液体，固体，臭氧，气体
• 最多10个源，六个单独的入口

picosun^®P-1000 ALD系统用于一系列3D物体的批量处理，如硬币，机械零件，珠宝，玻璃或金属板，或生产环境中的医疗植入物。关键应用包括不同的钝化和屏障层，以大大改善涂层物品的性能和寿命。picosun^®P-1000 ALD系统提供创新和敏捷设计，以方便最大的高质量ALD沉积，具有最大收益率，卓越的一致性，最低系统停机和具有生产经过生产过程的低成本。

可靠，快速，易于维护PicoSun^®P-1000 ALD系统表示工业ALD的尖端。