用扫描电镜对粗糙度进行三维成像

的英才桌面SEM系统与三维粗糙度重建应用程序能够产生三维图像和亚微米粗糙度测量。

3D成像有助于推断样本特征，使图像为更多用户所理解。例如，通常很难从二维平面图像中识别划痕、凹痕和毛刺。测量平均粗糙度(Ra)和粗糙度高度(Rz)是调节和理解生产过程的关键。利用扫描电镜成像进行数据采集，比传统的(间接)技术可以获得更好的分辨率。

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主要规格

• 直观的全自动化用户界面
• 直观的用户界面，高就业率
• 快速的重建
• 基于“形状从阴影”技术，无需舞台倾斜