用流量计测量清洁气体

层流场内不同的压力可以被FMA-LP2600A系列质量流量控制器评估和控制气体的质量流量。气体流动可以通过仪表内的层流单元(LFE)改变,从而实现流线型流动。在这个分量中,泊肃叶方程要求体积流量必须与压力降线性相关。因此,使用压力传感器测量LFE的两个固定点之间的压力降低。此外,还利用气体粘度来确定体积流速。此外,集成了绝对温度和压力传感器,以调整标准条件下的计算流量。这产生了标准的流量或质量流量,单位为标准立方厘米每分钟(SCCM)或标准升每分钟(SLM)。

采用真比例阀,利用固有的PID闭环控制器控制液体流量。原理读数包括输出0到5V(4到20 mA可选)和RS232通信。可定制的调整,可以作出的气体选择组件和设置点可以改变,从前面的键盘或使用RS232通信。RS232连接可用于检查和记录容积流量、质量流量、绝对压力和温度的测量。在相同的串行连接上,最多可以多投26个单位,射程46米(150')。

规范

  • 准确性:±(0.8% of reading + 0.2% FS)
  • 可重复性:±0.2% FS
  • 调节比:200:1
  • 控制响应时间:100毫秒
  • 输入控制信号:0至5 Vdc, RS232
  • 输出信号:0至5 Vdc, RS232
  • 可选的输入/输出:4至20毫安,0至10 Vdc
  • 工作温度:-10 to 50°C (14 to 122°F)
  • 零转变:0.02% / ATM FS /°C
  • 跨度转变:0.02% / ATM FS /°C
  • 湿度范围:0 ~ 100% RH,无冷凝
  • 多余的流量:2.4% FS
  • 湿材料:欧洲杯足球竞彩标准:303和302 SS, FKM,硅酮RTV(橡胶),玻璃增强尼龙,铝,黄铜,410 SS,硅酮,玻璃;>250 SLM: 416 SS和镍代替黄铜
  • LSS(选项):316LSS, 303SS, 430FRSS,全氟弹性体标准,FKM, EPDM, Buna, Neoprene
  • 最大压力:50 psig
  • 在体积模式下使用:在大气附近,建议最大15 psig。体积流量计和控制器在质量流量超过仪表额定流量范围时不具有精确性认证。它们只适用于接近大气压的条件。推荐的最大工作压力是15psig
  • 电源电流:20 SLM及以下为0.250 A;0.75 A,适用于50 SLM及以上(典型)
  • 电源电压:15至30 Vdc的2台SLM和更小;24至30 Vdc,适用于5台SLM或更大的单元
  • 电气连接:8针圆形迷你DIN

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