纳米系统配备了一个可移动的垂直轴，它允许系统从两个线性轴转换为三个线性轴。
新的，第三轴有一个直线电机和油静压轴承，作为一个轮廓轴。这个系统可以作为旧系统的一种改造，也可以作为新系统的一个可选部件。
关键好处
- 快速和简单的轴安装允许生产时间的优先级
- 在现有的2轴系统上增加一个新的y轴增加了能力
- 车削和飞切规范意味着产品质量得到保证
主要规格
| ． |
． |
将性能
(在XZ和YZ) |
表面粗糙度< 1.0 nm Sa
形状精度< 0.15 μm P-V |
| XYZ光栅铣削性能 |
表面粗糙度< 10 nm Sa
（在3nm下可达到最优
材料和切割条件）
形状精度< 0.2 μm P-V |
| 轴的旅行 |
100毫米 |
| 负载能力 |
18.2公斤(40磅) |
| 规模反馈分辨率 |
8 PM (0.008 nm) |
| 编程的决议 |
0.01纳米 |
技术规范
| 线性静压导轨 |
描述 |
| 类型 |
采用对称直线电机放置的静压轴承滑道 |
| 旅行 |
Y: 100mm(4.0英寸) |
| 最大的进料速度 |
1500毫米/分钟(59英寸/分钟) |
| 驱动系统 |
直线电机 |
| 位置反馈分辨率 |
8 PM (0.008 nm) |
| 轴直线度 |
水平，垂直:0.2 μm (0.8 μin.)全行程 |
| 液压供油系统 |
智能伺服控制，低脉动泵，可选热控制 |
可移动的垂直轴
Levicron高速主轴取代HS-150，更有效的铣削