的EVG520HE半自动热压系统由EV集团专门设计用于广泛的压花和纳米压印应用。EVG520HE能够接受高达200毫米的基片，与大多数标准半导体制造技术兼容。
EVG520HE配置了一个通用的压纹室，以及高真空、高温和高接触力的能力。因此，这种热压系统已被证明可以管理热压用途所需的各种聚合物和玻璃。
EVG520He还为用户提供各种高宽高比压花和解压花选项，以及能够在纳米分辨率执行高质量图案转移的工艺。
产品特性
- 适用于聚合物基板，自旋聚合物和玻璃材料的热压和纳米压印应用系统欧洲杯足球竞彩
- 自动压花过程
- 配备EVG专有的独立对准工艺，用于光学对准压花和压印工艺
- 可选择气动去压纹
- 软件控制流程操作
- UV-NIL选项