的EVG®120是EV集团专门设计的一种新型自动抗蚀剂处理系统，可处理高达200毫米的不同形状和尺寸的基片。EVG 120为用户提供了多种产品优势，如高吞吐量能力、紧凑的设计、最小的占地面积和降低的拥有成本，使该系统成为大批量生产的理想选择。
evg120还确保了广泛应用的高质量标准。
产品特性
- 灵活的抗蚀剂加工工具可用于不同的工艺变化
- evg120专有的Omni Spray超声雾化技术确保在极端地形的保形涂层过程中提供卓越的工艺结果
- 多功能模块的灵活组合，可用于开发、旋转、喷涂、烘烤、冷却等多种应用领域
- CoverSpinTM技术允许实现最佳旋涂
- 通过使用先进的、经过现场验证的具有双末端执行器能力的机器人处理，持续实现高吞吐量
- Megasonic技术用于清洗、开发和声化学处理，从而在更短的时间内提高工艺效率
- 基于EVG框架的智能进程调度能力
- 紧凑的尺寸减少了系统占用空间
- 特殊的流程开发，支持和服务