的XLNCE SMX-ILH XRF系统是产量管理和过程控制平台，提供内置和远程模块配置，以实现对涂层成分的在线大气分析，以及柔性和刚性基材的厚度测量。
该系统通过一个电动的、可编程的单或双集成测量模块，使涂层材料通过测量外壳运动，从而对整个面板进行静态或跨梯度位置的分析。
XLNCE SMX-ILH专利的Thermal Shield能够收集高达300°C的热基片的实时XRF数据，从而减少面板驻留时间，提高工艺吞吐量。通过专门的z轴高度调整功能，进一步提高了测量质量，该功能可以适应弯曲和翘曲，以及较大面板常见的平面偏差，特别是在较高温度下。
- 材料选择，层配方
- 厚度及成分分析
- 收益管理
- 离线和在线过程控制
专业应用领域
- 光伏制造过程
- 金属薄膜堆叠组成，如CIGS
- 耐腐蚀涂层
- 微电子制造
- 能源(CIS, CIGS，电池)
- 热障涂层