用于微纳米尺度测量的S neox三维光学轮廓仪

在效率，设计，性能和功能方面，新年代neox优于现有的光学三维剖面显微镜，为Sensofar提供了一流的面积测量系统。

易于使用的

Sensofar一直致力于为客户提供最好的体验。第五代S neox系统的目标是使其更快，更容易使用，更直观。它可以在一个点击中管理系统，甚至对用户谁只是初学者。

比以往任何时候都快

S neox是市场上最快的区域测量系统，数据采集速度为180帧/秒。

3 1中的技术

共焦方法，Ai聚焦变化，和干涉测量集成在同一传感器头在S neox，没有任何移动组件。

样品或光学(具有非常低的景深)被垂直扫描主动照明聚焦变化，以获得一组连续的地表图像。每一帧的焦点是由一种算法确定的，所有帧中的所有焦点都被组合在一起，形成一幅完整的图像。

由于使用了主动照明，即使在光学光滑的表面上也能获得更可靠的聚焦位置，这一过程已经得到了改进。该技术的优势包括大的垂直测量范围，高的斜坡表面(高达86度)，和最高的速度(高达3毫米/秒)。

极其连续和光滑表面的表面高度是由相移干涉测量法。每个数值孔径(NA)的分辨率都是亚埃分辨率。

的相干扫描干涉法使用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，在任何放大倍数下都能达到1纳米的高度分辨率。

非常粗糙或非常光滑表面的表面高度可以用共焦分析器。共聚焦剖面提供了最高的横向分辨率-多达0.14 μm的线和空间，通过空间采样可以减少到0.01 μm。

为了测量局部坡度超过70度的光滑表面，或高达86度的粗糙表面，可以使用高NA(0.95)和放大倍数(150X)镜头。

关键特性

• 它可以在一秒内测量从50nm到1.5 μm的透明薄膜薄膜测量技术．物镜放大率决定了样品评价光斑直径，可高达40 μm或低至0.5 μm。
• 纳米级的系统噪声是由高的决议n Sensofar专有算法。这些适用于光学仪器的最大横向分辨率的任何测量技术。
• 高的斜坡- S neox的设计是为了测量高达86度的粗糙样品和高达71度的光滑表面(0.95 NA)。
• 为了强调在正常观测中没有对比度的极小高度特征，差分干涉对比(DIC)观察使用。
• 在高反射表面，辍学点和反射被减轻HDR(高动态范围)．
• 该方法避免了耗时、逐面离散的经典共焦采集连续共焦模式，同时扫描平面内和Z轴．这对于减少大Z扫描和大面积扫描的采集时间至关重要。
• 数据不可靠的像素由SND(智能噪音检测)算法，没有横向分辨率损失被妥协。
• 的改进设计包括一个完整的支架结构范围(测量样品高达300 x 300毫米²和马克斯。高度可达350毫米)，一个环形灯(在焦平面上LED照明)，和一个机动鼻镜(可同时容纳6个镜头)。
• 由高精度电动旋转组成的a轴具有360度无限旋转，使之可选旋转舞台配有3R系统夹紧系统。
• 由于其直观和清晰的用户界面，该SensoSCAN软件驱动系统，从样本导航到分析和报告。当用户在3D环境中被引导时，他们将获得独特的体验。
• 执行广泛的分析任务，SensoVIEW是一款功能强大的高级分析软件，提供(具有顺序和交互式操作工具)。
• 也有其他软件．这些包括SensoMAP，这是一个非常先进的分析和报告工具，它是基于山区技术。此外还有SensoPRO，它带有可定制的模块和导向软件，以简化生产线上的质量控制。