这MicroOrf.®Fe.来自FRT是标准化的100％自动2D / 3D晶片计量工具。由于其全半保形计量解决方案以及几乎无需维护的硬件部件，这使得能够高吞吐量，微鼠®FE是每个前端实验室的理想“Workhorse”。
典型的配置可以通过几个可选功能来改进;即使是现场升级也可以在以后的日期完成。用户可以以较低的投资成本为快速的技术开发来解决 - 用微鼠®FE。
微鼠的亮点®Fe.
- 基于MicroProf的多传感器技术®300
- 前端应用的100％自动2D和3D表面计量
- 具体的内联解决方案
- 2020欧洲杯下注官网设备前端模块（EFEM）
- 晶圆处理模块
TTV选项
独立系统以及微鼠的桌面工具®系列有双面样本审查的选择。这有助于同时测量样品的底部和顶侧，以及测定样品厚度。样品的总厚度变化（TTV）可以与表面参数一起定义，例如，两个表面的平坦度，波纹和粗糙度。TTV选项可以毫不费力地在现场改装。