一些工业应用需要具有高吞吐量的完全自动化测量。这就需要自动的样品处理。
的MicroProf®MHU是专门为半导体、LED和MEMS行业开发的，可轻松配置为一系列样品(晶圆)类型。处理单元可以管理从2到12英寸的晶圆尺寸。基于这种配置，可以同时处理多达四盒磁带。
突出的MicroProf®MHU
- 提供高吞吐量，高达220瓦/小时
- 包括带双臂机器人的物料搬运装置
- 可选配OCR阅读器/预对准器
- 包括开式磁带的装载站
- 可选与SECS / GEM接口
- 包括分选功能，将好样品和坏样品分开
台的选择
桌面工具以及MicroProf的独立系统®系列包含双面样品检验选项。这允许测量样品的底部和顶部的厚度。样品的总厚度变化(TTV)可以与表面参数，如波浪形，平整度和粗糙度的两个表面。用户可以轻松地在现场改装TTV选项。