紧凑型等离子清洗系统-Apoll

新剥离系统的成本已上升到不合理的水平。Trion解决了这个关键问题。阿波罗等离子清洗系统是一个紧凑，廉价和多功能的系统，它可以处理100-300毫米晶圆。通过根据需要使用ICP或微波和射频偏置功率，可以在低温下去除难以去除的抗蚀剂层。根据应用需要，该系统可采用SST雷电微波源（既可靠又无典型微波调谐问题）或ICP技术。

规格

• 蚀刻速率高达6ìm/min
• 100mm至300mm晶圆
• 高吞吐量
• 占地面积小
• 低等离子体损伤
• 具有竞争力的价格
• 自校正

应用

• 微机电系统
• 化合物半导体
• 试生产线。