PICOSUN®morphher:用于200毫米以下晶圆行业的颠覆性ALD产品平台

的PICOSUN^®morphher ALD产品平台旨在彻底改变Beyond和More Moore技术中高达200毫米的晶圆行业。它实现了传感器、MEMS、激光、电力电子、led、光学和5G组件的快速、高吞吐量和100%自动化生产，具有行业领先的操作灵活性、过程质量和可靠性。

从企业研发到生产和代工制造，Morpher能够适应行业和客户不断变化的需求。

在基材材料、批量尺寸和基材方面的卓越灵活性，以及广泛的工艺范围，使Mo欧洲杯足球竞彩rpher真正成为一个可转变的、全方位的制造设施，使其客户成为行业的驱动力。

技术特点

典型的衬底尺寸和类型

• 200毫米晶圆批量生产，最多可达50片
• 150毫米晶圆批量生产，最多50片
• 100mm晶圆批量生产，最多可达50pcs
• 高纵横比样品(高达1:2500)
• 衬底材料:Si、石英欧洲杯足球竞彩、InP、玻璃、GaN、GaAs、SiC、LiNbO_3., LiTaO_3.

处理温度和容量

• 50°C到300°C
• 在24小时内，15纳米铝可生产1000片晶圆₂O_3.厚度

典型的流程

• 批处理可用，周期时间可降至个位数秒
• 艾尔₂O_3.,助教₂O₅、SiO₂高频振荡器,₂, TiO₂, ZrO₂氧化锌和金属
• 1σ不均匀性在批量(WIW, Al₂O_3.B₂B, WTW, 49点，5 mm EE)

衬底加载

• 通过Picoplatform™200真空集群系统盒式到盒式批量装载
• 采用真空集束工具，并集成垂直翻转功能，完全自动加载
• 可选SMIF站

关键的软件特性

• 统一接口，使用单一通信协议(Ethercat)控制整个集群
• 自主配方编辑器，允许在流程运行期间编写和修改配方，具有动态结构(每个配方的格式可伸缩)
• 固定回路控制周期，数据记录速率为1/20 ms，具有多任务处理功能
• 集成SECS/GEM到工厂主机
• 完全导出数据;数据记录器可以远程访问

前体

• 固体，液体，气体，臭氧
• 多达12个来源和6个独立的入口
• 液位传感器、清洗和补水服务

的PICOSUN^®morphher的设计是完全自动化处理晶圆批次结合行业标准的单晶圆真空集群平台。创新的、获得专利的晶圆批翻转机构允许系统与半导体生产线的集成，在半导体生产线中，大多数加工都是水平几何体。SEMI S2/S8认证确保该系统符合行业的严格规定。

的PICOSUN^®morphher ALD系统可以通过SECS/GEM协议纳入工厂自动化。先进的软件通过直观和高效的图形用户界面提供了简单、安全、防故障的系统操作。

凭借其专利的双室热壁反应器设计，加上完全分离的前驱体导管和入口，Picosun创造出最高质量的ALD薄膜，具有优异的收率，卓越的光学和电学性能，以及低粒子水平。

morphher的紧凑、符合人体工程学的设计，易于和快速维护，确保市场上最低的拥有成本和最小的系统停机时间。