牛津仪器公司的FlexAL系统提供远程等离子体原子层沉积(ALD)过程和热ALD，在一个单一的ALD系统。这为设计纳米级结构和器件提供了全新的灵活性和能力。
- 远程等离子体和热ALD在一个单一的灵活的工具
- 远程等离子体确保低伤害
- 等离子ALD促进低温过程
- 在选择前体和材料方面具有极大的灵活性欧洲杯足球竞彩
- 能不能耦合用于真空转移的基片
- 盒式磁带到盒式磁带的处理提高产量是生产的理想选择
- 能处理200毫米的晶圆吗
- 菜谱驱动的软件界面确保了可控的、可重复的过程
概述
ALD产品系列包括多种工具，以满足企业研发、学术和小规模生产的不同需求。
图片来源:牛津仪器等离子体技术公司